sci quadrio 全自动在线等离子清洗机 高uph等离子清洗机 quadrio 4&5是紧凑型的独立等离子清洗系统，仅适合条“strip”形式的基板清洗。这一系统的特点允许它持续24小时不停允许并保证的可靠性和可重复性。 quadrio型号: 4 & 5-ex 工艺气体： 气 氧气 气 气/氧气 各种比例混合 其他所需气体 特点： 适用于各种条式的框架或基板 多料盒上料/下料方式 uph 高达 400~500片/小时(按照10秒等离子时间计算) 两路气体流量控制 机体内包含一个干泵 高精密电阻式压力计 镀镍的铝制腔体 防卡料系统保护基板或框架 后期设备维护成本低 应用： 针对于条状框架或基板 焊线前清洗引线框架或基板 焊线前去除有机污染物 塑封前清洗，增强树脂与引线框架/基板的粘合度 underfill 底部填充前，增强flipchip 封装的粘合度 半导体封装应用中去除助焊剂 产品的活化、清洗及去污等 选项： 使用破真空的进气管路 规格： 机器尺寸：784 x 1850 x 1665(高) mm 重量： 510 kg 电源：单相 100～240v 50 /60hz, 2.5 kva 压缩空气：4～6 bar 排气口：nw25 腔室材料：铝材，镀镍 腔室大小：505 x 314 x 87.4 (高) mm 产品：q5 max: 72 x 300 x 1 (高) mm q4 max: 100 x 300 x 1 (高) mm 电极构造: 平板电极 等离子类型：直接式/反应离子刻蚀式 压力传感器：范围 0.001～1 mbar 2路带流量控制器的进气管路 每路进气管上装有进气压力传感器 干式真空泵(所需维护较小) rf发生器：600 watt, 13.56 mhz 自动网络匹配 控制方式： plc /pc 人机界面: 19寸触摸屏+ 键盘&鼠标 洁净室可兼容 ce & iso 9001 认证